０ 引 言 随着社会的发展，人们对信息的处理、计算、传输、存储以及速度和能耗控制等技术的要求越来越高，进而对集成电路的性能提出了更高的要求。硅基光电集成技术能够充分利用现有成熟的微电子工艺，将光子传输速率高、…
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